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    什么是靶材绑定?

    访问量 : 1273
    编辑时间 : 2021-04-26

      什么是靶材绑定?在靶材镀膜时,有时候会把靶材绑定在一个背靶上,用焊料将靶材与背靶焊接起来,这叫“靶材绑定”。一般的靶材会将其绑定在铜背靶上,旋转靶材会绑定在不锈钢衬管上,下面苏州罗纳尔材料科技有限公司的小编就来具体介绍下靶材绑定的方式、作用及流程的内容。

      一、靶材绑定的方式

      靶材绑定的方式主要有三种,压接、钎焊和导电胶。

      1、压接:采用压条, 一般为了提高接触的良好性,会增加石墨纸、Pb或In皮。

      2、钎焊:一般使用软钎料的情况下,钎料常用In、Sn、In-Sn,要求溅射功率小于20W/cm2。

      3、导电胶:采用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0 05微米。

      二、靶材绑定的作用

      1、防止靶材受热不匀碎裂。例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及烧结靶材受热容易碎裂;

      2、节省成本,防止变形。如靶材太贵,可将靶材做薄些,绑定背靶以防止变形。

      三、靶材绑定的流程

      1、绑定前将靶材和背靶表面预处理;

      2、将背靶固定放置在加热台上,将靶材放于背板上,升温到绑定温度;

      3、将靶材和背靶金属化,通过钎焊将靶材贴合在铜背板上;

      4、粘接靶材和背靶,靶材的远离铜背板的表面上放置配重块,待靶材冷却后取下配重块步骤;

      5、降温和后处理。


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